首页 > 厚/薄膜技术 > 关于蒙特卡罗(Monte_Carlo)方法模拟PVD成膜过程
2011
09-14

关于蒙特卡罗(Monte_Carlo)方法模拟PVD成膜过程

最近看了有关磁控溅射仿真模拟的方法,有很多软件都可以进行Monte_Carlo模拟仿真,例如matlab,但这个需要自己去些一些数学模型,比较复杂。有一个比较简单的仿真工具叫SRIM。可以输入入射粒子数据和靶材数据,可估算离子能量损失,靶材损失,溅射产额等整个过程。其基本界面和输出截面如图所示:官方下载网址及其详细说明书:www.srim.org


[caption id="attachment_421" align="aligncenter" width="300" caption="srim输出界面"]srim输出界面[/caption]

srim软件界面
srim软件界面
作者:admin
admin
TTF的家园-www.ttfde.top 个人博客以便写写东西,欢迎喜欢互联网的朋友一起交流!

本文》有 0 条评论

留下一个回复