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2011
09-14

关于蒙特卡罗（Monte_Carlo）方法模拟PVD成膜过程

最近看了有关磁控溅射仿真模拟的方法，有很多软件都可以进行Monte_Carlo模拟仿真，例如matlab，但这个需要自己去些一些数学模型，比较复杂。有一个比较简单的仿真工具叫SRIM。可以输入入射粒子数据和靶材数据，可估算离子能量损失，靶材损失，溅射产额等整个过程。其基本界面和输出截面如图所示：官方下载网址及其详细说明书：www.srim.org


[caption id="attachment_421" align="aligncenter" width="300" caption="srim输出界面"]srim输出界面[/caption]

srim软件界面
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