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2009
11-05

集成电路封装工艺流程

一.前段操作:
1.贴膜:在晶圆的表面贴一层保护膜(蓝膜)。使用贴膜机完成。
2.研磨:对晶圆背面进行研磨,减薄晶圆厚度,达到相应的尺寸要求。使用研磨机完成。
3.烘烤:增加芯片和切割胶膜之间的粘性。使用烘烤箱完成。
4.上片:在晶圆背面贴一层膜把晶圆固定在框架上便于切割。
5.去膜:去掉晶圆表面的保护膜。
6.切割:用切割机将芯片分离开。
7.切割后检查:检查上片方向是否与键合图相符。用显微镜检查。
8.芯片贴装:将切割后的芯片粘贴在引脚架中心的焊盘上。
9.打线键和:将芯片焊区与封装外壳的I/O线相连接。
二.后段操作:
1.塑封:将芯片与引线框包装起来,注塑方法。
2.去飞边毛刺:祛除塑封过程中的树脂溢出。
3.切筋:切除引脚之间的连筋。
4.成型:使引脚弯曲成一定的形状。
5.打码:采用激光打印产品名称,类型等。
6.电镀:电镀引脚,对引脚进行保护。
7.电镀后检查:检查产品质量,合金含量等。
8.电镀后烘烤:消除引线框架应力,降低锡镀层晶须生长。
9.终测:检查芯片内部电路,保证产品正常电路功能。
10.包装出货。
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