2011
09-14
09-14
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最近看了有关磁控溅射仿真模拟的方法,有很多软件都可以进行Monte_Carlo模拟仿真,例如matlab,但这个需要自己去些一些数学模型,比较复杂。有一个比较简单的仿真工具叫SRIM。可以输入入射粒子数据和靶材数据,可估算离子能量损失,靶材损失,溅射产额等整个过程。其基本界面和输出截面如图所示:官方下载网址及其详细说明书:www.srim.org[caption id="attachment_421" align="aligncenter" width="300" capti...
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