热电,机械性能稳定,气密性好。
缺点:
i:与塑料封装性比,工艺温度高,成本高
ii:自动化能力差
iii:陶瓷材料具有高脆性。易受应力损害
封装常用材料:氧化铝,氮化硅
陶瓷封装工艺:(以氧化铝为例)
1.生胚片(green tape)的制作:
粉体准备-浆料准备-生胚片成型
生胚片成型工艺:
将浆料以刮到成型的方法制成生胚片。
2.冲片与导孔成型:
冲片工艺将生胚片以精密模具切成适当尺寸的薄片,冲片时薄片四边冲出对位孔以供叠合时对齐。导孔成型则将生胚片冲出适当大小的导孔以供垂直方向导通。
3.厚膜导线成型:
使用厚膜技术制成金属化的生胚片
4.叠压
如需制成多层陶瓷基板则必须完成厚膜金属化的生胚片进行叠压
5.烧结:
分为高温和低温烧结,目的是将有机物烧除,无机物坚固。
6.表面电镀
7.引脚结合
8.测试。
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